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Les MEB FEG JSM-7100F TTLS LV et JSM-7800F Prime sont les premiers équipements à être arrivés sur la nouvelle plateforme de microcaractérisation de Toulouse-Montaudran.

Le JSM-7100TTLS LV est un microscope électronique à balayage qui possède toutes les performances haute résolution d’un microscope à effet de champ (FEG) avec en plus, la possibilité d’observer des échantillons non conducteurs en pression contrôlée jusqu’à 300Pa.

Tous les échantillons non conducteurs sont observés et analysés sans préparation d’échantillon préalable avec un ensemble de détecteurs : EDS, électrons rétrodiffusés (BSE), EBSD etc. Le mode LV est complètement automatisé.

Outre sa très bonne résolution (1.2nm à 15kV) en imagerie, ce microscope est particulièrement adaptè à l’analyse chimique et cristallographique grâce à son fort courant de sonde (jusqu’à 600nA). Il est équipé d’un spectromètre EDS SDD couplé à un système EBSD HKL.


Le JSM-7800F Prime est un microscope électronique à balayage à émission de champ (FEG) haut de gamme qui permet d’atteindre la résolution sub-nanométriques à toutes les tensions d’accélération mais également de grandes capacités analytiques (jusqu’à 600nA de courant). 

Il est particulièrement destiné à l’observation d’objets à très haute résolution (0.8nm de résolution). A faible tension d’accélération, l’observation de matériaux isolants sans métallisation préalable est également possible (mode décélération d’électrons, piège à électrons dans la colonne, acquisition des images en mode balayage alternatif...). 

Il est équipé d’un spectromètre EDS SDD, d’un plasma cleaner et des nombreux détecteurs (SEI et BEI dans la chambre et dans la colonne).