MEB Ultra haute résolution

Microscopes Électroniques à Balayage (MEB)

JEOL propose une large gamme de MEB
avec un canon à émission de champ (FEG),
afin de toujours répondre au mieux à vos besoins.

JSM-F100 Microscope Electronique à Balayage FEG
microscope à balayage JSM-F100

Le microscope électronique à balayage JSM-F100 est équipé du In Lens Plus canon à effet de champ (brevet JEOL) et du système de contrôle optique électronique NeoEngine qui font la réputation de la nouvelle génération de SEM JEO. Il est également équipé d’une nouvelle interface graphique : SEM Center orienté multi-utilisateurs et du système innovant LIVE-AI (Live Image Visual Enhancer - Artificial Intelligence). Il allie ainsi une imagerie en haute résolution spatiale et une grande facilité d’utilisation.

Le JSM-F100 comprend un système EDS entièrement intégré au SEM Center pour permettre une acquisition homogène des images et des résultats d’analyses élémentaires. Le JSM-F100 atteint une efficacité de travail remarquable, au moins 50% de plus par rapport à la série précédente de JSM-7000, accroissant ainsi considérablement les capacités de production.

Nouvelle fonction de SEM Center pour l'intégration EDS


La nouvelle interface graphique intègre l’imagerie MEB et l’analyse EDS sur le même écran (unique). Cette fonction, plébiscitée depuis 4 ans par nos clients utilisateurs de MEB multi-fonctions à filament de tungstène, facilite l’utilisation et permet de travailler plus rapidement.

Ecran du MEB


Nouvelle fonction Zeromag

La fonction Zeromag, incorporée pour une transition en douceur de l'imagerie optique à l'imagerie MEB, facilite la localisation de la zone d’intérêt de l'échantillon.

Zeromag



Nouveau filtre LIVE-AI * Option

Utilisant l'intelligence artificielle (AI), le filtre LIVE-AI est incorporé pour une meilleure qualité des images instantanées. Contrairement au traitement d'intégration d'image, ce nouveau filtre peut afficher une image en temps réel, sans effet de ‘rémanence’. Cette fonction unique est très efficace pour rechercher rapidement des zones d’observation et faire la mise au point précise.

Comparaison entre le mode normal et le mode avec filtre LIVE-AI

comparaison entre modie normal et avec filtre LIVE-AI
Echantillon : Exosquelette de fourmi, tension d’accélération : 0,5 kV, détecteur : SED

comparaison entre mode normal et avec filtre LIVE-AI
Echantillon : Oxyde de fer (rouille), tension d’accélération : 1 kV, détecteur : SED


Canon à effet de champ Schottky  in-lens Plus (haute brillance)

L'intégration du canon à électrons dans la lentille du condensateur à faible aberration (brevet JEOL) offre une luminosité plus élevée. Un courant de sonde suffisant est disponible à une tension d'accélération faible, permettant notamment d’acquérir l'imagerie en haute résolution et la cartographie élémentaire à grande vitesse. Cette fonctionnalité est unique à JEOL ( venez la tester).

lentille





Lentille hybride (HL)

La lentille hybride (HL), une combinaison entre la lentille électrostatique et la lentille à champ électromagnétique, prend en charge l'imagerie à haute résolution spatiale et l'analyse de divers échantillons allant des matériaux magnétiques aux isolants.

lentille hybride



NeoEngine

NeoEngine, un système de contrôle optique électronique à la pointe de la technologie, améliore considérablement la précision des fonctions automatiques, ainsi que la facilité d'utilisation.

AFS - ACB

 Avant le réglage de la mise au point automatique
NeoEngine
 Après ajustement de la mise au point automatique
NeoEngine
Echantillon : nanoparticules Sn sur carbone
Tension d’accélération : 15 kV, WD : 2 mm, mode d’observation : BD, détecteur : UED, grossissement : x 200 000


ACL (lentille avec contrôle de l'angle d'ouverture), Brevet JEOL

Le JSM-F100 intègre une lentille avec contrôle de l'angle d'ouverture (ACL) permet de refocaliser les électrons incidents en maintenant toujours la plus petite sonde possible. Le contrôle optimal de l'angle d'ouverture pour les fortes variations de courant de la sonde, limite les aberrations, notamment en imagerie en haute résolution et en analyse par rayons X. Couplé au canon in-lens Plus, la lentille ACL est d’une importance primordiale pour la gestion de l’imagerie haute résolution et l’imagerie en haute résolution ultra rapide.

contrôle angle d'ouverture



Système de détection

Le JSM-F100 peut accueillir quatre détecteurs permettant d’observer simultanément plusieurs images. À l'instar du MEB conventionnel, le détecteur LED (détecteur d'électrons dans la chambre) et le détecteur RBED (détecteur d'électrons rétrodiffusés rétractable) sont disponibles. De plus, le JSM-F100 configure deux détecteurs intégrés à la lentille : le détecteur standard UED (détecteur d'électrons supérieur) et le détecteur en option USD (détecteur d'électrons secondaire supérieur). L'UED forme une image MEB qui filtre et/ou mélange des électrons secondaires et des électrons rétrodiffusés à grand angle. L'USD détecte les électrons secondaires de basse énergie interceptés par un filtre d'énergie juste en dessous de l'UED, pour former une image MEB.

système de détection


UED : électrons rétrodiffusés sous grand angle
(information de composition et cristalline)

UED
USD : électrons secondaires
(informations morphologiques de surface)
USD
RBED : électrons rétrodiffusés
(informations de composition, cristallines et topographiques)

RBED
SED : électrons secondaires et rétrodiffusés
(informations topographiques)
SED

Echantillon : Matériau fritté de NdFeB, tension d’accélération : 5 kV, largeur : 4 mm, mode d’observation : HL, filtre d’énergie : –300 V


SMILE VIEW™ Lab

compile les images optiques et images MEB, résultats d'analyse EDS


SMILENAVI * Option


SMILENAVI est un outil d’assistance conçu pour les débutants permettant d’effectuer simplement des opérations MEB de base. Lorsque l'opérateur clique sur le bouton approprié, indiqué par l'organigramme SMILENAVI, l'interface graphique MEB est liée aux clics pour guider l'opérateur. Étant donné que l’interface graphique affiche les étapes d’opération et les emplacements des boutons, les opérateurs pourront utiliser le MEB sans utiliser SMILENAVI.

assistance par SmileNavi

Résolution (1kV)

1,3 nm

Résolution (20kV)
0,9 nm
Grandissements grossissement photo : x 10 to x 1,000,000 (128 mm x 96 mm)
grossissement de l'affichage : x 27 tox 2,740,000 (1,280 x 960 pixels)
Tension d’Accélération
0,01 à 30 kV
Courant de sonde
quelques pA à 300nA (30 KV)
quelques pA à 100nA (5 KV)
Détecteur standard
Détecteur d’électrons supérieur (UED)
Détecteur d'électrons secondaire (SED)
Canon à électrons
Canon à effet de champ Schottky  in-lens Plus
Lentille avec contrôle de l'angle d'ouverture (ACL)  intégrée
Objectif Lentille hybride (HL)
Platine

Goniomètre eucentrique complet

Mouvement de l'échantillon
X : 70 mm, Y : 50 mm, Z : 2 to 41 mm
Inclinaison : -5 à 70°, Rotation : 360°
Contrôle moteur
Commande moteur 5 axes
Taille de l'échantillon
Diamètre maximal : 170 mm
Hauteur maximale : 45 mm (largeur : 5 mm)
Grande profondeur de champ (LDF)
 intégrée
Fonctions EDS
Analyse spectrale, analyse qualitative et quantitative, analyse de ligne (ligne horizontale, ligne de direction spécifique), cartographie élémentaire, suivi de sonde, etc.

Les caractéristiques de ce produit peuvent changer sans notification.