MET 200kV

Microscopes Électroniques en Transmission (MET)

JEM-NEOARM à correcteur d'aberrations intégré, en source Schottky ou Cold FEG

JEM-ACE-200F Microscope électronique en transmission 200kV FEG automatisé
microscope électronique en transmission JEM-ACE200F

Avec la miniaturisation incessante des semi-conducteurs, le microscope électronique en transmission (MET) est devenu un outil essentiel pour leur caractérisation.

JEOL a développé le nouveau modèle JEM-ACE200F qui répond aux demandes de cette industrie :
- l’observation morphologique,
- la mesure des dimensions fondamentales,
- l’analyse élémentaire,
- l’analyse des contraintes locales,
- la mesure de la concentration en dopant.
L’industrie du semi-conducteur demande l’acquisition rapide et stable de données à haute résolution pour l’observation morphologique, la mesure des dimensions fondamentales et l’analyse élémentaire, afin d’obtenir une remontée d’informations dans le processus de fabrication.
 
Le JEM-ACE200F peut fonctionner selon des formules pré-programmées. Les pré-programmes permettent un fonctionnement automatisé et de générer des données automatiquement.
 
Comme le JEM-ACE200F hérite des technologies logicielles du microscope haut de gamme JEM-ARM200F et du MET non-corrigé multifonctions JEM-F200, ce nouveau microscope électronique en transmission à haute tension offre une formidable stabilité et de grandes capacités automatiques d’analyse avec un nouveau design extérieur sophistiqué.
 
 
Haute tension
- Acquisition rapide de données grâce aux fonctions de réglage automatique du microscope (MET / STEM).
- La courte durée de pré-évacuation du porte-échantillon permet un démarrage rapide de l'observation dans les 30 secondes suivant l'insertion du porte-échantillon, avec un vide optimum pour le MET.
 
Interface conviviale
- Interface graphique sophistiquée pour fonctionnement quotidien aisé du microscope.
- Toutes les opérations peuvent être réalisées avec la souris.
 
Formules faciles à programmer et à changer
- La formule du processus de travail peut être programmée avec des outils intuitifs.
- Le processus du travail peut être programmé en divers langages de programmation normalisés.
 
Conception respectueuse de l'environnement
- Opération à distance.
Résolution en mode MET (à 200 kV)
Point image
0.21 nm
Image à réseau
0.10 nm
Information limite
0.11 nm
Résolution en mode STEM (à 200 kV)
STEM DF image
0.136 nm
STEM BF image
 0.136 nm
Canon à Electrons
Type Schottky, ZrO/W(100) emitter
Tension d'accélération
60 à 200kV
Angle d’inclinaison de l’échantillon
TX (avec porte-échantillon inclinable)   ±80°

Options          
Analyse dispersive en énergie (EDS), spectroscopie par perte d'énergie d’électron (EELS), système automatique de transfert multi-échantillons, système de contrôle intégré MET (centre d’automatisation), système de tomographie MET/STEM
SrTiO3 JEM-2800
TiO2 JEM-2800
quantitative mapping JEM-2800
EDS CENTURIO Pd Au JEM-2800