Polisseur ionique - CP

Préparation d’échantillons

Polissage des échantillons pour une qualité de surface parfaite pour l'observation.

IB-19520CCP Cross Section Polisher
Cross section polisher IB-19520CCP

L’IB 19520CCP ou CP Environnementale va permettre de préparer tous les types d’échantillons sensibles à l’Air.

Un vaisseau de transfert permet de préparer l’échantillon sous atmosphère contrôlée, puis de le transférer dans le CP afin de procéder à la découpe ou au polissage ionique. Une fois que le procédé ionique est fini,  il est également possible de faire un dépôt de carbone à l’intérieur du CP pour protéger la surface et/ou pour la rendre conductrice. Lorsque l’échantillon est fini d’être préparé il peut être transporté via le vaisseau de transfert (à l’abri de l’action de l’oxygène) du Cross section polisher vers un MEB, une microsonde, ou un FIB JEOL, pour l’observation et l’analyse. L’IB-19520CCP  possède aussi un mode cryogénique pour les échantillons nécessitant un refroidissement à la température de l’azote liquide. Les équipements complémentaires comme le polissage de large surface sont également disponibles.

Pour de plus amples informations sur la façon dont l’échantillon est refroidi et réchauffé, sur le vaisseau transfert,  sur la tension d’accélération des ions, sur le calcul de la vitesse d’érosion, veuillez contacter nos services : blandine@jeol.fr
Tension d'accélération de l'Argon
2 à 8 kV
Diamètre du faisceau d'ion
500 µm (en std) ou plus
Taille de l'échantillon

11 mm (W) x 10 mm (L) x 2 mm (T) en standard,
Certains porte-objets permettent de mettre des échantillons de plus grande dimension (option).

Platine axe X ±10 mm; axe Y ±3 mm
Angle d'ajustement de l'échantillon
+5°
Angle de tilt pendant le polissage
±30°
3 modes
Mode automatique
Mode intermittent
Mode finition
Interface Écran tactile, caméra
Gaz Argon
Porte-objet supplémentaire
 Porte-objet rotatif (option)
Mesure de pression
Gauge Penning
Pompe principale
TMP
Pompe secondaire
Pompe à palettes
Dimensions et Poids 545 mm (W) x 550 mm (D) x 420 mm (H), 64 kg

Effet du refroidissement

Échantillon : acier galvanisé
  Effet du refroidissement
Normal milling (without cooling)
Accelerating voltage 4kV
Effet du refroidissement. Échantillon refroidi.
Cooled milling (holder temperature -120℃)
Accelerating voltage 4kV

En utilisant le contrôle de température (option)

Échantillon: Wafer de Si
   Contrôle de température. Température ambiante
Normal milling
Polissage à T°C ambiante
 Contrôle de température. Refroidissement
Cooling
refroidi à -150°C
 Polisseur ionique. Contrôle de température
Cooling temperature control
contrôle de la température à -20°C

Il apparaît qu’à température ambiante l’agent de liaison est déformé par la chaleur, à -150°C un vide apparaît à l’interface, lorsque la température est contrôlée à -20° il n’y a pas d’artefact.