Présentation
La demande pour des appareils permettant de révéler la complexité des nanomatériaux dans leur structure 3D a conduit JEOL à développer ce nouveau multibeam : JIB-4700F. Les axes de développement se sont concentrés autour de la préparation rapide de lames MET, de l’analyse 3D de la nano-structure de tout type de matériaux et de l’érosion de formes géométriques variables.
Le JIB-4700F possède une lentille objectif ultra-conique permettant d’atteindre une résolution de 1,6 nm à 1 keV (résolution calculée par séparation de deux particules d’or : ‘gap method’ par opposition à ‘edge method’). Grâce au canon FEG IN-LENS (brevet JEOL), des courants très importants (300 nA avec une image à la clé !) dans une petite taille de sonde permettent d’explorer les limites spatiales de L’EDS et de l’EBSD en 3D. La nouvelle colonne FIB à ions gallium permet de focaliser une sonde, avec un courant allant jusqu’à 90 nA, pour les procédés ultra-rapide de fabrication ionique de piliers ou de lames minces.
Le dernier axe de développement est la robustesse de ce FIB. En effet, son design a été optimisé pour garantir une stabilité et une fiabilité accrues lors des procédés FIB & MEB.
Caractéristiques principales
- Tomographie 3D (BEI, EDS, EBSD).
- Haute résolution en imagerie FIB et MEB.
- Très fort courant pour acquisition rapide de données en FIB et en MEB, pas de compromis !
- Détection simultanée.
- Polyvalent : EDS, EBSD, CRYO, cellule de transfert pour échantillons sensibles à l’air.
- Préparation automatique de lames minces pour le MET.
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