La pompe rotative fait tourner un rotor dans un boitier à l’état hermétique maintenu en utilisant de l’huile pour aspirer des molécules de gaz dans l’entrée, et les molécules de gaz sont comprimées pour ouvrir une vanne à la sortie, puis les gaz sont éjectés dans l’air. Comme la pompe rotative fonctionne à partir de la pression atmosphérique (105 Pa), elle est utilisée pour le pompage grossier d’un MET et pour l’évacuation de la face arrière de la pompe à diffusion (huile) et de la pompe turbomoléculaire. La pression de travail est de 1055 à 1 Pa. Si une évacuation de longue durée est poursuivie à la limite d’évacuation, il se produit un reflux de la vapeur d’huile de la pompe vers la chambre à vide. Par conséquent, l’évacuation prolongée par la pompe doit être évitée. Lorsqu’une pompe sans huile est nécessaire, la pompe à spirale est utilisée.
Il est possible de substituer la pompe rotative par une pompe sèche. Comparativement parlant, les pompes rotatives sont moins couteuses, plus silencieuses et permettent d’atteindre un meilleur niveau de vide. Elles sont beaucoup plus robustes car bien entretenu par le SAV JEOL.
Synonyms:
pompe rotative à huile, pompe à palette
