Technique d’observation et d’analyse de la structure d’un échantillon utilisant la reconstruction en 3D au cours de laquelle un échantillon enrobé de résine est coupé en fines tranches dans son épaisseur par un ultramicrotome spécifique in-situ (dans la chambre du MEB).
Détecteur EDS qui n'utilise pas de fenêtre de protection devant le détecteur permettant d’éviter l’absorption de rayons X par le matériau de la fenêtre.
Technique cristallographique microstructurale permettant de mesurer l'orientation cristallographique de nombreux matériaux.
Indice de la vitesse de balayage du faisceau d'électrons.
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