Nouvelles solutions pour la préparation des échantillons
Le multibeam JIB-PS500i offre trois solutions pour faciliter la préparation des échantillons MET.
Le workflow a été développé pour réduire le temps passé de la préparation de l’échantillon à l’observation MET.
Caractéristiques
TEM-linkage
JEOL a développé un concept de cartouche à double inclinaison qui peut être utilisée dans le FIB et transférée dans le MET, facilitant ainsi le couplage entre le MET et le FIB. La cartouche peut être fixée au porte-échantillon MET dédié d’une simple pression.
Workflow pour le transfert d’échantillons avec la cartouche à double inclinaison*
L’OmniProbe 400* (Oxford Instruments) a été choisie pour réaliser des opérations de manipulations précises et fluides lors des prélèvements. Le contrôle de l’OmniProbe 400* est intégré dans le logiciel du JIB-PS500i.
OmniProbe 400*
Conditions d'observation : (gauche) Tension d'accélération 2 kV, image en électrons secondaires avec le détecteur SED, (centre et droite) Tension d'accélération 200 kV, image MET, instrument : JEM-ARM200F
Check-and-go
Pour préparer avec précision et efficacité un échantillon MET, il est essentiel de vérifier rapidement la progression de la préparation. Grâce à sa platine à forte inclinaison et à la position idéale des détecteurs dans la chambre, le JIB-PS500i permet une transition fluide entre la préparation FIB et l’imagerie STEM. Les transitions rapides entre le traitement des lames et l’imagerie STEM permettent une préparation efficace des échantillons.
Conditions d'observation : Tension d'accélération 30 kV, détecteur STEM-BF (en haut à gauche), STEM-DF(en haut à droite), SED Image électronique secondaire (en bas à gauche), Cartes EDS (En bas à droite) Violet : Al Jaune : Ti Orange : P Bleu : O Vert : Si.
Préparation automatique
Le JIB-PS500i intègre un système d’automatisation de préparation des lames minces appelé TEM STEMPLING2*. Ce système permet à tout opérateur de préparer automatiquement et avec aisance les échantillons pour le MET.
Préparation automatique du bloc d'échantillons (en haut), différentes étapes de préparation automatique (en bas). Conditions d'observation : Tension d'accélération 30 kV, Détecteur SED (image SIM).
Imagerie MEB haute résolution et hauts contrastes
N’hésitez plus, ne ratez plus l’amincissement final de vos lames minces. Les images MEB de haute qualité vous aident.
Système de détection des signaux
Plusieurs détecteurs sont disponibles, notamment le SED standard, l’UED et l’iBED. La sélection du détecteur optimal permet d’observer des images nettes de divers échantillons dans diverses conditions expérimentales.
Imagerie MEB haute résolution
Un nouveau système de lentille super conique est intégré à la colonne du MEB, ce qui améliore considérablement les performances d’imagerie à faible tension d’accélération. Cette qualité d’imagerie est très utile pour vérifier l’état final de préparation d’une lame mince à l’aide du MEB.
Imagerie MEB et section transversale préparée par FIB
Un détecteur d’électrons rétrodiffusés (RBED)* très petit et rétractable peut être utilisé et ce même avec une forte inclinaison de la platine.
L’imagerie d’une coupe transversale préparée par FIB nécessite à la fois une imagerie de la surface et une imagerie inclinée. Ceci est rendu possible par l’utilisation de divers détecteurs, dont le SED et l’UED, permettant d’obtenir une imagerie MEB en coupe transversale.
Conditions d'observation : Tension d'accélération 2 kV, détecteur d'électrons rétrodiffusés RBED (en haut), électrons secondaires SED (à gauche), électrons rétrodiffusés RBED (centre), électrons rétrodiffusés UED (droite).
Intégration logicielle de l’EDS*
Les fonctions d’analyse EDS sont intégrées dans le logiciel de commande principal de l’instrument, ce qui permet d’effectuer une analyse élémentaire de l’échantillon sans changer de logiciel. (Ceci n’est disponible que lorsque l’instrument est équipé d’un JEOL EDS*).
FIB haute puissance et haute qualité
Pour une préparation optimale des échantillons, une préparation FIB plus puissante.
Préparation FIB rapide sur de grandes surfaces
La colonne FIB émet un faisceau d’ions Ga à fort courant (jusqu’à 100 nA).
Ce fort courant est particulièrement efficace pour l’imagerie et la préparation de grandes surfaces.
Conditions d'observation : Tension d'accélération 3 kV, détecteur SED Image d'électrons secondaires Bloc d'échantillon (200 × 4 × 15 μm). Bloc d'échantillon prélevé avec le système OmniProbe 400*.
Élimination des couches endommagées par traitement à faible kV
La colonne FIB a été optimisée pour améliorer considérablement ses performances de traitement à de faibles tensions d’accélération. L’ajout d’un nouveau système de contrôle permet d’obtenir des capacités de découpes fines à haute performance essentielles à la préparation de lamelles de qualité.
Nouvelle conception de la chambre et du goniomètre
Haute flexibilité, grande inclinaison et large goniomètre pour répondre à toutes les exigences.
Chargement d’échantillons de grandes tailles
Le JIB-PS500i est doté d’une grande chambre et d’une nouvelle platine 5 axes, ce qui augmente la plage de mouvement de la platine tout en permettant l’utilisation d’échantillons de grande taille. Cette grande platine permet de traiter et d’imager la surface entière d’un échantillon de 130 mm de diamètre. En outre, il est possible de charger un échantillon d’une hauteur de 80 mm dans la chambre.
Wafer de silicium (150 mm de diamètre) dans la chambre du JIB-PS500i.
AVERT Engine pour déterminer la limite de mouvement en utilisant le mode 3D
Le logiciel AVERT Engine est utilisé pour déterminer la limite de mouvement de l’échantillon en utilisant les modèles 3D du porte-échantillon, de la platine et de l’objet à l’intérieur de la chambre. Ainsi, dans toutes les conditions, l’échantillon ne peut pas rentrer en collision avec le détecteur et la lentille objectif.
Présentation en vidéo
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