Correcteur d’aberration sphérique (Cs) ASCOR (Advanced STEM corrector)

Le correcteur ASCOR incorporé dans le NEOARM peut supprimer l’astigmatisme six-fold qui limite la résolution après la correction de l’aberration sphérique.
La combinaison de l’ASCOR et du Cold FEG minimise l’aberration chromatique et repousse la limite de diffraction, ce qui permet d’améliorer la résolution.

GaN [211] : 200 kV

Image ADF-STEM GaN [211] : 200 kV avec son modèle FFT et image Ronchigram associée

Si [110] : 80 kV

Image ADF-STEM Si [110] : 80 kV avec son modèle FFT et image Ronchigram associée

Graphene (mono layer) : 30 kV

Image ADF-STEM Graphene (mono layer) : 30 kV avec son modèle FFT et image Ronchigram associée

Images ADF-STEM avec leurs modèles FFT et les images Ronchigram associés (images acquises avec pièce polaire UHR).

Logiciel de correction automatique des aberrations JEOL COSMO™ (Corrector System Module)

JEOL COSMO™ adopte un nouvel algorithme de correction des aberrations (SRAM : Segmented Ronchigram Auto-correlation function Matrix). COSMO™ ne nécessite aucun échantillon spécial pour la correction des aberrations, ce qui simplifie grandement le processus d’alignement. De plus, ce système intègre un alignement automatique du correcteur permettant un accès plus rapide au microscope. Ces caractéristiques permettent une imagerie en résolution atomique plus facile d’accès et bien plus rapide.

schéma correcteur d'aberration ASCOR et logiciel JEOL COSMO
images HR-STEM avant et après auto-réglage

Echantillon : Si[110]


Tension d’accélération : 200 kV

Nouveau système de détection ABF (Annular Bright Field)

Le détecteur ABF a été développé pour imager en haute résolution les éléments légers. Sa dernière évolution appelée e-ABF (enhanced ABF) équipe les microscopes NEOARM et améliore encore plus le rendu du contraste des éléments légers en haute résolution.

images e-ABF

Référence : S.D. Findlay, Y.Kohno, L.A. Cardamone, Y.Ikuhara, N.Shibata, Ultramicroscopy 136 (2014)31-41.

Détecteur Perfect Sight

Le détecteur STEM Perfect Sight, intégré au NEOARM, est fabriqué à partir de scintillateurs hybrides. Ce détecteur permet l’acquisition d’images STEM quantitatives et très contrastées, quel que soit le réglage de la tension d’accélération, i.e pour de faibles valeurs de tension d’accélération et jusqu’à 300 kV.

Système OBF

OBF STEM (Optimum Bright Field STEM) est une nouvelle méthode d’imagerie STEM où les images brutes acquises par un détecteur STEM segmenté sont utilisées comme source pour la reconstruction d’une image de phase, avec des filtres de Fourier dédiés pour maximiser le rapport signal/bruit de l’image récupérée.
Cette méthode prometteuse permet d’obtenir un contraste plus élevé pour les éléments lourds et légers, même dans des conditions où la dose d’électrons est extrêmement faible. Les matériaux sensibles aux faisceaux, difficiles à observer avec les méthodes STEM ADF et ABF classiques, peuvent être facilement analysés avec un contraste plus élevé et ce dans une large gamme de grandissements.

Référence : K. Ooe, T. Seki, et al., Ultramicroscopy 220, 113133 (2021)

Imagerie STEM Low Dose

Les matériaux sensibles au faisceau, tels que les structures métallo-organiques (MOF) et les zéolithes, nécessitent une dose d’électrons réduite (typiquement, un courant de sonde < 1,0 pA) tout en maintenant des contrastes atomiques clairs pour imager la structure des éléments légers.
La technique OBF STEM est parfaite pour l’analyse de ce type de matériaux car il est possible de travailler en mode « Low Dose » tout en conservant la résolution atomique.

Les deux images OBF STEM suivantes provenant d’échantillons MOF MIL-101et MFI Zéolite sont acquises en une seule trame et en conditions Low Dose.

Image OBF STEM MOF MIL-101

Echantillon : MOF MIL-101


Instrument : JEM-ARM300F2. 
Tension d’accélération : 300 kV
. Courant de sonde : < 0.15 pA
. Prof. Zhenxia Zhao, Guangxi University

Image OBF STEM MFI Zeolite

Echantillon : MFI Zeolite


Instrument : JEM-ARM300F2. 
Tension d’accélération : 300 kV
. Courant de sonde : 0.5 pA.

Imagerie à haut contraste pour les éléments légers

En plus d’être très efficace en termes de dose, l’OBF STEM est également avantageuse pour l’imagerie des éléments légers.
Même avec une tension d’accélération plus faible, il est possible d’obtenir un contraste et une résolution spatiale plus élevés pour les éléments légers.

images OBF STEM de GaN et de graphène

La résolution pour les éléments légers s’améliore considérablement avec une tension d’accélération plus élevée.

La qualité de l’OBF STEM est excellente dans des conditions de faible dose.

images OBF STEM de 𝛽-Si3N4 et GaN

Imagerie OBF en direct

Observation en direct d’images OBF-STEM avec JEM-ARM200F

Infos complémentaires

Appli. correcteur Cs STEM

  • Voici un article de ‘Semiconductor  science and technolgy (31 2016)’ sur la quantification à l’échelle sub-nanomètrique du contraste HAADF, et de son intérêt pour contrôler la composition des couches ultra-fines. : “ Sub-nanometrically resolved chemical mappings of quantum-cascade laser active regions ” par : Konstantinos Pantzas, Grégoire Beaudoin, Gilles Patriarche, Ludovic Largeau, Olivia Mauguin, Giulia Pegolotti, Angela Vasanelli, Ariane Calvar, Maria Amanti, Carlo Sirtori and Isabelle Sagnes.
  • Xavier sauvage du GPM de Rouen nous livre un très bel article dont le but est de clarifier le rôle exact de l’étain dans les cinétiques d’oxydation de CuSn, avec une attention particulière portée à la nucléation et à la croissance des nano-particules SnO2, précipitant dans la matrice de cuivre (cfc). Dubey et  al. ont mis a profit différentes techniques S/TEM (HRTEM, EFTEM, HR-STEM, STEM HAADF) sur un JEOL ARM200F corrigé sonde pour l’analyse des particules SnO2.Cette étude permet de mieux comprendre les différents mécanismes présents lors de l’oxydation de CuSn. Vous y trouverez également de très bels images HAADF
  • Atomic-scale characterization of the nucleation and growth of SnO2 particles in oxidized CuSn alloys ”. M. Dubey, X. Sauvage, F. Cuvilly, S. Jouen, B. Hannoyer, Scripta Materialia 2012.
  • Les nouveaux alliages plus légers et plus résistants sont des enjeux majeurs de l’aéronautique. Williams Lefebvre (GPM) nous livre une très belle étude sur les alliages Mg-Nd un concurrent sérieux des alliages base aluminium. De remarquables photos HAADF Ultra haute résolution (ARM-200F) nous montre la précipitation des chapelets d’atomes de Nd dans leur matrice de Magnésium.
    APPLIED PHYSICS LETTERS 100, 141906 (2012) W. Lefebvre, V. Kopp, and C. Pareige
    ‘Nano-precipitates made of atomic pillars revealed by single atom detection in a Mg-Nd alloy’

Appli. correcteur Cs MET (image)

Courtesy of MPQ Université Paris Cité

Image Haute résolution réalisée par le laboratoire du Prof Christian Ricolleau (MPQ paris 7) avec un ARM-200F Cold FEG.
Il s’agit de nanoparticules de CoPt qui ont poussées en épitaxie sur un substrat de NaCl.
Certaines formes des cubes et d’autres formes des triangles sur la surface du substrat.
Ces nanoparticules ont été fabriquées pour étudiées l’influence de la taille sur la température de transition de phase ordre / désordre qui intervient dans cet alliage.
Jamie H. Warner, Elena Roxana Margine, Masaki Mukai, Alexander W. Robertson, Feliciano Giustino, Angus I. Kirkland Science 13 July 2012: Vol. 337 no. 6091 pp. 209-212
Le graphène est un cristal bidirectionnel possédant des propriétés intrinsèques (mobilité électronique, vitesse de déplacement des électrons, auto-refroisissement très rapide, …) très intéressantes pour des applications dans le domaine de la micro-électronique. Warner et al. ont étudié la dynamique des paires de dislocations et leurs impacts sur la structure cristalline du graphène. Les dislocations ont été étudiées en HRTEM à 80 kV à l’aide d’un TEM JEOL JEM-2200CMO, équipé d’un double correcteur (image et sonde) ainsi que d’un monochromateur à double filtre de Wien. Les auteurs ont mis en évidence l’influence des dislocations sur les champs de déformation et on pu, grâce à l’utilisation du monochromateur associé à la technique HRTEM, cartographier précisément la position des atomes uniques de carbone.

CARACTÉRISTIQUES

Résolution STEM HAADF1) : 0.08 nm 2) (à 200 kV source Schottky) /0,078 nm avec une pointe froide
Résolution en TEM :
point image : 0,19 nm (at 200kV) 0.11 nm with TEM Cs corrector 3) (à 200 kV)
réseau : 0,10 nm

1) With HAADF (high-angle annular dark-field) detector
2) Verified using Ge(112) specimen
3) Option

STEM : de 200 à 150,000,000x
MET : de 50 à 2,000,000x
Canon : Schottky / cathode froide

de 80 à 200 kV 4)s/sup>

4) Option: 60 kV

Platine eucentrique avec déplacement Piezo-électrique
Taille de l'échantillon : 3 mm diamètre
Angle d'inclinaison : +/-25° avec un porte-objet double tilt pour une piece polaire UHR
Déplacements : X/Y: ±1.0 mm
Correcteur STEM de Cs : standard
Correcteur TEM de Cs : optionel
Accessoires : (EDS) / (EELS) / CCD camera, etc.

Pour de plus amples informations, merci de bien vouloir nous contacter.

Les caractéristiques de ce produit peuvent changer sans notification.

QUALITÉS

Résolution spatiale extrêmement fine.
Correcteur d'aberration ASCOR combiné au Cold FEG.
Contraste élevé pour les éléments lourds et légers.

Méthode d’imagerie OBF STEM (Optimum Bright Field STEM)
Techniques d’analyse HRTEM, EFTEM, HR-STEM, STEM HAADF

Le logiciel COSMO™ permet d’automatiser la correction des aberrations.

Matériaux
Chimie
Biologie
Nanotechnologie

Avis d'utilisateurs

‌‌Christian Ricolleau, professeur à l'Université Paris Diderot (équipe Microscopie Électronique Avancée et NanoStructures (Me−ANS) au sein de la fédération de recherche Matériaux et Phénomènes Quantiques), fait le point sur son utilisation de l'ARM200F, upgradé NEOARM.

Avis de Christian Ricolleau

‌‌> article en Anglais

‌‌L'Office national d'études et de recherches aérospatiales (ONERA) a acquis le microscope électronique en transmission NEOARM pour étudier par exemple des alliages aéronautiques qu'on retrouve dans les réacteurs pour améliorer leur efficacité et avoir une consommation réduite, ou regarder l'émission de particules à la sortie des réacteurs pour avoir une aéronautique moins polluante.

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